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      技術文章/ article
      
        
       您的位置：首頁  -  技術文章  -  關于光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的特征及用法 
      
        
      
      
      
      
      
        	
      關于光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的特征及用法
      
            
      更新時間：2023-04-14      瀏覽次數：910
      
            
      
            	 
      特征
      • 通過光學方法可以進行非接觸式和非破壞性的厚度測量。
      • 實現高測量再現性
      • 可實時高速監控拋光
      • 實現了長 WD（工作距離）并且易于集成到設備中
      • 從主機設備使用 LAN 通過 TCP/IP 通信進行控制
      • 可以進行多層厚度測量
      • 可測量臨時晶圓（臨時鍵合晶圓）各層厚度
      用法
      • 各種晶圓（硅、其他化合物晶圓）的厚度測量
      • 融入各種工藝，如研磨、拋光、粘合等。
      • 晶圓以外的厚膜部件厚度測量
      • 300 毫米晶圓測繪系統
      • 通過對準精細圖案提供晶圓厚度和各種厚度信息
      • 配備高精度XY定位平臺（±2μm以下），實現高精度定位
      • 可以處理晶圓以外的形狀
      • 可以檢查測量點周圍的視野
      • 對應半導體用300mm晶圓
      • 與 MEMS 和傳感器設備兼容

      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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