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      您的位置:首頁  -  技術文章  -  超高壓高純度 氣體過濾器 聚四氟乙烯氣體過濾器 ST-A系列

      超高壓高純度 氣體過濾器 聚四氟乙烯氣體過濾器 ST-A系列

      更新時間:2024-02-23      瀏覽次數:652


      ST-A系列

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      特征

      • 超高純度在線氣體過濾器

      • 全氟聚合物濾芯

      • 電解拋光 316L 不銹鋼外殼

      • PTFE 元件具有卓的越的耐腐蝕性,并且對大多數高純度半導體工藝氣體具有出色的兼容性

      • 3 納米粒子過濾能力以最小的壓降保持高流動效率

      • 5Ra 電拋光表面可防止內部污染

      • 去離子水清洗后用熱氮氣烘烤,滿足半導體工藝標準

      • 100級制造、清潔和包裝環境

      • 100% 氦氣泄漏測試

      購信息

      • S材料
      •  

      • TA產品系列
      •  

      • 50額定流量(SLPM)
      •  

      • 4連接尺寸
      •  

      • 虛擬機連接類型
      材料產品系列額定流量(SLPM)連接尺寸連接類型
      D316L不銹鋼重熔TA產品系列5050 每分鐘41/4"SW樂型
      S316L不銹鋼--100100 每分鐘63/8"虛擬機MFS男型
      ----150150 每分鐘81/2"--


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