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      技術文章/ article
      
        
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      日本otsuka大塚電子 非接觸式超高速、高精度測量晶圓和樹脂的厚度計SF-3
      
            
      更新時間：2024-03-15      瀏覽次數：622
      
            
      
            	 
      otsuka大塚電子 非接觸式超高速、高精度測量晶圓和樹脂的厚度計SF-3 
      光譜干涉式晶圓厚度計SF-3
      在晶圓等研磨、拋光過程中，可以非接觸式超高速、高精度測量晶圓和樹脂的厚度。
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      • 產品信息
      • 規格
      • 設備配置
      • 映射
      • 測量示例
      產品信息
      視頻 從測量到結果
       
      特征
      • 光學方法可實現非接觸式、無損厚度測量
      • 實現高測量重復性
      • 可實現高速實時拋光監控
      • 實現長WD（工作距離）并且易于集成到設備中
      • 由主機設備使用 LAN 通過 TCP/IP 通信進行控制
      • 可測量多層厚度
      • 能夠測量臨時晶圓（臨時鍵合晶圓）各層厚度
      5個特點
       
      測量項目
      • 厚度測量（5層）
       
      目的
      • 各種晶圓（硅及其他化合物晶圓）厚度測量
      • 融入研磨、拋光、粘合等各種工藝中
      • 晶圓以外的厚膜部件的厚度測量
       
      集成到半導體工藝中的示例
      ■ 臨時粘接


      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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