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      技術文章/ article
      
        
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      ADTEC Plasma Technology高周波射頻電源TXR、AX系列的產品介紹
      
            
      更新時間：2024-05-21      瀏覽次數：629
      
            
      
            	 
      ADTEC Plasma Technology 產品
      高周波射頻電源
      • image.png
      • 設計可承受高反射高耐用的具有高信賴度的產品
      • 提供降低成本的產品
      • 安裝了最新的CPU
        （高速響應性能UP）
      • 支持新的通訊方式
        （可對應EtherCAT）

      自動匹配阻抗設備
      • image.png
      • 可實現高速自動整合
      • 監視史密斯圓圖上的腔室阻抗
      • 使用專用軟件實時顯示，
        行波，反射波電力功率等
      IDX產品
      直流電源
      • image.png
      • 可在一臺電源上實現多種輸出模式
        可實現可變Duty的雙極輸出
        可實現直流及直流脈沖方式輸出
      • 搭載高速電弧遮斷功能

      微波電源
      • image.png
      • 應用于等離子處理設備
      • 不受高電壓及振動部產生的散熱影響，并且設置環境也適合廣大范圍　


      • TXR，TXL，TXM，TXH系列
        image.png
        AX系列
        image.png
        • 可承受高反射的AB類線性AMP
          高可靠性和高耐用性設計
        • 對應300W～30kW
        • 安裝了最新的CPU
          （高速響應性能UP）
        • 支持新的通訊方式
          （可對應EtherCAT）
        • 300W～對應


      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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