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      產(chǎn)品分類
          
      products category
      
        
      
        
      
            
        
      
      
      
    
      
    
      
      
      
        
      技術(shù)文章/ article
      
        
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      德國FITOK氣動(dòng)隔膜閥DPT系列的產(chǎn)品介紹
      
            
      更新時(shí)間：2024-08-22      瀏覽次數(shù)：630
      
            
      
            	 
      德國FITOK氣動(dòng)隔膜閥DPT系列的產(chǎn)品介紹
      簡介
      飛托克 DPT 系列兩段式氣動(dòng)隔膜閥專用于半導(dǎo)體行業(yè)，其通過小流量和大流量之間的快速切換以緩和腔體內(nèi)壓力上升，用于防止流體急驟流入半導(dǎo)體制程機(jī)臺(tái)的腔體等內(nèi)部而造成微粒四處飛揚(yáng)污染腔體。相對(duì)于傳統(tǒng)的通過增加旁路管道來調(diào)節(jié)壓力的方式，兩段式氣動(dòng)隔膜閥更節(jié)省空間和成本。
      圖1.jpg
      特征
      1.可在小流量和大流量間快速切換
      2.鈷合金隔膜強(qiáng)度高、耐腐蝕，使用壽命長
      3.極少產(chǎn)生顆粒和死區(qū)
      4.內(nèi)部無螺紋和彈簧
      技術(shù)參數(shù)
      圖2.jpg






      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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