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      技術文章/ article
      
        
       您的位置：首頁  -  技術文章  -  用于氣相分解的VPDBOX的技術參數 
      
        
      
      
      
      
      
        	
      用于氣相分解的VPDBOX的技術參數
      
            
      更新時間：2024-09-05      瀏覽次數：825
      
            
      
            	 
      VPD BOX特點
      ●該設備利用氫氟酸自然汽化，在氣相狀態下分解硅片上的氧化膜和氮化膜，使硅片表面疏水化。
      ●與酸性液體、酸性氣氛接觸的部件采用PTFE、PVDF。
      ●請與半自動收集裝置SC系列配合使用。
      規格參數
                  
                              
      裝置名
                        		                        
      VPDBOX-200-1M
                        		                        
      VPDBOX-300-1M
                        		        
              
                              
      最大處理張數
                        		                        
      1 件
                        		                        
      1 件
                        		        
              
                              
      外形(W×D×H)(mm)(※1)
                        		                        
      290×290×250
                        		                        
      390×390×250
                        		        
              
                              
      重量
                        		                        
      6公斤
                        		                        
      8公斤
                        		        
              
                              
      使用場所
                        		                        
      干凈的草案里面
                        		                        
      干凈的草案里面
                        		        
              
                              
      外部資源
                        		                        
      N2氣（用于酸性氣氛吹掃）
                        		                        
      N2氣（用于酸性氣氛吹掃）
                        		        
          

      4.png 

       
       
      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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