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      產(chǎn)品分類
          
      products category
      
        
      
        
      
            
        
      
      
      
    
      
    
      
      
      
        
      技術(shù)文章/ article
      
        
       您的位置：首頁  -  技術(shù)文章  -  SONOSYS 13407-071+噴嘴13792-004 2+3MHz雙頻在掩膜清洗 用途介紹 
      
        
      
      
      
      
      
        	
      SONOSYS 13407-071+噴嘴13792-004 2+3MHz雙頻在掩膜清洗 用途介紹
      
            
      更新時間：2026-02-12      瀏覽次數(shù)：134
      
            
      
            	 
      德國 SONOSYS® 雙噴嘴兆聲波清洗系統(tǒng)，專為單晶圓、掩膜、LCD 基板及 MEMS 等精密部件設(shè)計。采用多頻率組合技術(shù)（1MHz+2MHz/1MHz+3MHz/2MHz+3MHz/2MHz+4MHz），每束 35W 能量聚焦于 2×4mm 微小區(qū)域，實現(xiàn)高效非接觸式清洗，避免機械損傷，潔凈度可達優(yōu)良制造嚴苛標準。

      【產(chǎn)品參數(shù)】
      ? 模塊化兆聲波發(fā)生器
      • 電氣參數(shù)：輸出功率 70W（MLM 1+MLM 2），調(diào)節(jié)范圍 20%-100%；頻率覆蓋 950kHz-1.05MHz、1.95MHz-2.05MHz、2.95MHz-3.05MHz、3.95MHz-4.05MHz；電源 230VAC 50-60Hz。
      • 機械參數(shù)：19 英寸機架 3/4U 設(shè)計，外形尺寸 28 HP（165×185×329mm），重量約 5.2kg。
      • 運行條件：環(huán)境溫度 10℃-40℃，濕度禁止凝結(jié)水。
      ? 兆聲波雙噴嘴
      • 電氣參數(shù)：高壓輸入 2×35W，適配 1/2/3/4MHz 頻率；換能器采用特殊 PZT 壓電陶瓷；3 米屏蔽高壓電纜（Φ4.5mm PTFE 材質(zhì)），噴嘴與匹配盒電纜長 20cm（ 50cm）。
      • 機械參數(shù)：外尺寸 74×79.8×37mm，重量約 600g；液體接口 2×1/8" NPT，最小流量 2×1.0L/min，適用溫度 20℃-60℃；噴嘴距待清洗物距離 5-20mm 可調(diào)。
      【適用場景】
      ? 半導體行業(yè)：單晶圓表面微小顆粒、有機物殘留清洗
      ? 光刻工藝：掩膜版高精度去污，保障圖案轉(zhuǎn)移精度
      ? 顯示面板：LCD/OLED 基板潔凈度提升，優(yōu)化顯示效果
      ? 微機電系統(tǒng)：MEMS 器件微小結(jié)構(gòu)內(nèi)部完整清潔
      【訂貨信息】：
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      【品牌保障】
      德國 SONOSYS® Ultraschallsysteme GmbH 原廠出品，專注兆聲波清洗技術(shù)研發(fā)，品質(zhì)可靠。支持技術(shù)咨詢與定制化方案，提供*售后服務。


      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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