texeg 晶圓對準器WA系列WA-8A 和WA-12A差異解析

更新時間：2026-03-23

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產品概述

Texeg（TEX E.G.）是一家日本半導體設備制造商，成立于1987年，總部位于東京。公司專注于半導體制造設備、溫度控制技術和搬運系統的研發與生產。

WA 系列預對準單元（Pre-Alignment Unit）是用于硅晶圓搬運過程中的"芯出し與位置決め"（定心與定位）設備，主要應用于半導體生產線中。

| 型號 | 支持晶圓尺寸 | 主要應用 |

| ---------- | ---------- | -------- |

| WA-8A | 4、5、6、8 英寸 | 中小型晶圓預對準 |

| WA-12A | 8、12 英寸 | 大尺寸晶圓預對準 |

預對準系統的工作流程包括：

| 項目 | 規格 |

| ----- | --------------------

| 適用晶圓 | 硅晶圓（Silicon Wafers）

| 傳感器類型 | CMOS 傳感器

| 定心精度 | ±0.05 mm

| 檢測方式 | 邊緣檢測（Edge Detection）

公司背景

Texeg 在預對準領域擁有悠久歷史：

1989年：開始開發并銷售 Orientation Flat Aligner（定向平邊對準器）

2001年：開始銷售 12 英寸定向平邊對準器

2011年：開始銷售支持翹曲晶圓的定向平邊對準器

2012年：推出 U 系列定向平邊對準器

應用領域

WA 系列預對準單元主要應用于：

半導體晶圓搬運系統

光刻機配套設備

晶圓檢測設備前端

其他需要高精度晶圓定位的自動化設備

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