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      osakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數據

      osakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數據TG907M/TG1307M
      操作數據、觸地次數、型號信息等可保存在主機中 * 即使在檢修期間更換控制器,也可以傳輸數據。

      • 產品型號:TG907M/TG1307M
      • 廠商性質:經銷商
      • 更新時間:2023-04-11
      • 訪  問  量:1324
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      osakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數據TG907M/TG1307M

      osakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數據TG907M/TG1307M



      新型磁力軸承式渦輪分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M的特點

       

      • 省電設計

      • 操作數據、觸地次數、型號信息等可保存在主機中 * 即使在檢修期間更換控制器,也可以傳輸數據。

      • 用法

      • 半導體制造設備  

      • FPD制造設備

      • 太陽能電池制造設備

      • 玻璃/透鏡等光學零件加工

      • 膠片加工

      • 加速器/空間環境試驗設備


      ■ 可在大氣壓力下連續運行
       打開時排氣速度 800L/min

       

      ■ 可能吸入蒸氣

       蒸汽處理量 500g/hr

       

      ■縮短排氣時間
       保持恒定的排氣速度直到到達近點

       

      ■ 風冷規格

      用法


      ?小型實驗用真空
      ?load lock chamber抽真空、輸送
      分析、測量設備、吸附、輸送

      加速器排氣
      密封、密封
      電子槍源、離子槍源排氣
      干燥
      濺射沉積等PVD設備的輔助泵排氣
      小爐排氣
       TMP等高真空泵

      模型FR060D
      抽速(L/min)最大限度1000
      開放運營800
      極限試驗壓力(Pa)一般來說1.0
      氣鎮2.0
      連接格式進氣口 (西北) 40
      排氣口 (西北) 40
      最大水蒸氣處理量*1  (g/hr)500
      潤滑劑體積 (mL)90后
      功耗(千瓦)在極限壓力下1.1
      最大限度1.3
      電源電壓(V)200-240
      頻率(赫茲)50/60
      相數單相/三相
      允許電壓波動*2±10%
      功率容量(kVA)3.0
      電流 (A)單相11.1
      三相6.5
      冷卻方式空氣冷卻
      大約質量 (kg)75
      環境溫度(℃)5-40





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