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      otsukael積分光度計

      otsukael積分光度計除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

      • 產品型號:SLS-6500HL
      • 廠商性質:經銷商
      • 更新時間:2025-06-26
      • 訪  問  量:4789
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        otsukael靜態光散射光度計 積分光度計SLS-6500HL的介紹
       
        除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。
       
        特征:
       
        可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內測量橢圓參數
       
        能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
       
        通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
       
        支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
       
        通過創建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性
       
        測量項目
       
        橢圓參數(tanψ,cosΔ)測量
       
        光學常數(n:折射率,k:消光系數)分析
       
        膜厚分析
       
        測量對象
       
        半導體ウェーハ
       
        ゲート酸化薄膜,窒化膜
       
        SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
       
        レジストの光學定數(波長分散)
       
        化合物半導體
       
        AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン
       
        FPD
       
        配向膜
       
        各種新素材
       
        DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜
       
        光學薄膜
       
        TiO2,SiO2,反射防止膜
       
        リソグラフィー分野
       
        g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価
       
       
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